Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS

Description

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Links & Downloads

1. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00399621
2. http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/39/96/21/PDF/these_D_VEYRIE_IMS.pdf

Tags

packaging MEMS

hermiticité

microcavité

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00399621
Date	08 February 2007
Creators	Veyrié, David
Source Sets	CCSD theses-EN-ligne, France
Language	French
Detected Language	French
Type	PhD thesis