In der vorliegenden Arbeit wird eine Prozedur zur Ordnungsreduktion von Finite Elemente
Modellen mikromechanischer Struktur mit elektrostatischem Wirkprinzip entwickelt und
analysiert. Hintergrund der Ordnungsreduktion ist eine Koordinatentransformation von
lokalen Finite Elemente Koordinaten in globale Koordinaten. Die globalen Koordinaten des
reduzierten Modells werden durch einige wenige Formfunktionen beschrieben. Damit wird
das Makromodell nicht mehr durch lokale Knotenverschiebungen beschrieben, sondern durch
globale Formfunktionen, welche die gesamte Deformation der Struktur beeinflussen. Es wird
gezeigt, dass Eigenvektoren der linearisierten mechanischen Struktur einfache und effiziente
Formfunktionen darstellen. Weiterhin kann diese Methode für bestimmte Nichtlinearitäten
und für verschiedene in Mikrosystemen auftretende Lasten angewendet werden. Das Ergebnis
sind Makromodelle, die über Klemmen in Systemsimulatoren eingebunden werden können,
die Genauigkeiten einer Finite Elemente Analyse erreichen und für Systemsimulationen
typische Laufzeitverhalten besitzen.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18384 |
| Date | 25 January 2005 |
| Creators | Bennini, Fouad |
| Contributors | Dötzel, Wolfram, Kasper, Manfred, Schwarz, Peter, Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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