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Wachstum amorpher Schichten: Vergleich von Experiment und Simulation im Bereich Oberflächenrauhigkeit und mechanische Spannungen / Growth of amorphous thin films: Comparison of experiment and simulation concerning surface roughness and mechanical stresses

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1. http://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0006-B40E-C
2. urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-1042-2
3. webdoc-1042

Identifer	oai:union.ndltd.org:uni-goettingen.de/oai:ediss.uni-goettingen.de:11858/00-1735-0000-0006-B40E-C
Date	01 November 2000
Creators	Mayr, Stefan Georg
Contributors	Samwer, Konrad Prof. Dr.
Source Sets	Georg-August-Universität Göttingen
Language	German
Detected Language	German
Type	doctoralThesis
Format	ContentType:application/pdf
Rights	http://webdoc.sub.gwdg.de/diss/copyrdiss.htm