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Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie /

Zugl.: Ilmenau, Techn. Universiẗat, Diss., 2000.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76121139
Date January 2000
CreatorsWöhner, Thomas.
PublisherAachen : Shaker,
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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