L’objectif de cette thèse est le développement des détecteurs pour la microscopie champproche électromagnétique pour deux domaines fréquentiels. Pour le domaine des microondesnous présentons des micro-antennes non conventionnelles basées sur un guidagecoplanaire et l’effet de pointe. Nous pr´esentons les différentes étapes de la conceptionet de la réalisation avec les techniques de micro-fabrication. L’évaluation de leur performancea été obtenue avec une confrontation des résultats de mesure et de cartographie surdes éléments passifs et ceux d’une modélisation d’intégration finie. Pour le domaine desTérahertz, nous avons réalisé des micro-bolométres à température ambiante. Dans le butd’améliorer l’absorption de ces d´etecteurs, leur conception a été basée sur l’étude théoriquede l’absorption d’une onde électromagnétique en incidence normale sur un empilement descouches métalliques et diélectrique. Deux versions ont été réalisées et caractérisées é l’aidedes sources électroniques qui peuvent atteindre 1, 1 THz en continue. Les performancesde ces d´etecteurs en termes de bruit, de sensibilit´e et de temps de r´eponse sont mises enexergue. / The objective of this thesis is the development of detectors for near-field microscopy fortwo electromagnetic frequency domains. For microwave domain we present unconventionalmicro-antennas based on coplanar line and point effect. We present the different stages ofthe design and implementation with micro-fabrication technique. The evaluation of theirperformance was obtained with a comparison of measurement results and mapping ofpassive elements and those of a model of finite integration. For the THz domain, we performedroom temperature micro-bolometers. In order to improve the absorption of thesedetectors, their design was based on the theoretical study of the absorption of an electromagneticwave normally incident on a stack of metal and dielectric layers. Two versionswere prepared and characterized using electronic sources that can reach continuous 1,1THz. The performance of these detectors in terms of noise, sensitivity and time responseare highlighted.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:theses.fr/2011BESA2018 |
| Date | 15 December 2011 |
| Creators | Ben Mbarek, Sofiane |
| Contributors | Besançon, Cretin, Bernard, Euphrasie, Sébastien |
| Source Sets | Dépôt national des thèses électroniques françaises |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | Electronic Thesis or Dissertation, Text |
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