Strukturbreitenbestimmung für die sub-100-nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung

Description

Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005

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1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=978021134
2. http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/293/pdf/dissertation_weidner_2005.pdf
3. http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/293/index.html

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/181533352
Date	January 1900
Creators	Weidner, Andrea
Publisher	Aachen Shaker
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German
Type	Online-Publikation