Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung

Description

München, Techn. Universiẗat, Diss., 2001.

Links & Downloads

1. http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2001/schafbauer.pdf
2. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=962053333

Tags

Rapid thermal processing

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76251606
Date	January 2001
Creators	Schafbauer, Thomas.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German