Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung

Description

Techn. Hochsch., Diss., 2003--Aachen.

Links & Downloads

1. http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2003/043/03_043.pdf
2. http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2003/043/index.htm
3. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=96713837X

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/175173647
Date	January 2002
Creators	Bitte, Frank.
Publisher	Aachen : Shaker,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.