Nasschemische Synthese und Charakterisierung von elektronisch leitfähigen, oxidischen Dünnschichten für die Mikroelektronik /

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Techn. Hochschule, Diss.--Aachen, 1999. / Nebent.: Elektronisch leitfähige, oxidische Schichten. Literaturverz. S. 191 - 201.

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1. http://www.gbv.de/dms/bs/toc/304930040.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/247432454
Date	January 1999
Creators	Hasenkox, Ulrich.
Publisher	Düsseldorf : VDI-Verl.,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German