Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess

Description

Magdeburg, Universiẗat, Diss., 2004.

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1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=973155329
2. http://diglib.uni-magdeburg.de/Dissertationen/2004/henfuchs.pdf
3. http://diglib.uni-magdeburg.de/Dissertationen/2004/henfuchs.htm

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PVD-Verfahren

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76617286
Date	January 2004
Creators	Fuchs, Henning.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	LF