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Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen

Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008

  1. http://d-nb.info/998423181/04
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/551685482
Date January 2008
CreatorsReuter, Danny
PublisherMünster Verl.-Haus Monsenstein und Vannerdat
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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