Membranes a-SiCxNy:H déposées par CVD-plasma. Tamis moléculaire pour la perméation de l'hélium

Description

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1. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00466225
2. AIGLE_IEM: 09-094
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Tags

PECVD

a-SiCxNy:H

membranes

perméation gazeuse

tamisage moléculaire

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00466225
Date	12 June 2009
Creators	Kafrouni, Wassim
Source Sets	CCSD theses-EN-ligne, France
Language	French
Detected Language	French
Type	PhD thesis