Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

Description

Universiẗat, Diss., 2004--Heidelberg.

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1. http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/volltexte/2005/5265/index.html
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=974008524
3. http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/volltexte/2005/5265/pdf/Patzner_Dissertation_heidok.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/179720325
Creators	Patzner, Patrik.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.