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Untersuchungen von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplatation und bei epitaktischen Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung

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Identiferoai:union.ndltd.org:MUENCHEN/oai:edoc.ub.uni-muenchen.de:197
Date21 December 1999
CreatorsBeck, Udo Wolfgang Ludwig
Publisherlmu
Source SetsDigitale Hochschulschriften der LMU
Detected LanguageGerman
TypeDissertation, NonPeerReviewed
Formatapplication/pdf
Relationhttp://edoc.ub.uni-muenchen.de/197/

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