Computersimulation der Dynamik von Schicht und Vorschicht bei der Plasmaimmersions-Ionenimplantation

Description

Kaiserslautern, Universiẗat, Diss., 2002.

Links & Downloads

1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=968971598
2. http://kluedo.ub.uni-kl.de/volltexte/2003/1628/pdf/Dissertation.pdf
3. http://kluedo.ub.uni-kl.de/volltexte/2003/1628/index.html

Tags

Plasma-Immersions-Implantation

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76671689
Date	January 1900
Creators	Briehl, Boris.
Publisher	[S.l. : s.n.,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	LF