Amélioration de la résolution en profondeur de l'analyse SIMS par déconvolution algorithmes spécifiques et application aux couches dopées ultra-minces de la micro-électronique silicium /

Description

Thèse de doctorat : Dispositifs de l'électronique intégrée : Villeurbanne, INSA : 2001. / Thèse : 2001ISAL0016. Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr.p.179-184.

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1. http://csidoc.insa-lyon.fr/these/2001/mancina/index.html

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Spectroscopie

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/491247796
Date	January 2003
Creators	Mancina, Gérard Dupuy, Jean-Claude Prost, Rémy
Publisher	Villeurbanne : Doc'INSA,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French