Einfluss einer Verschleissschutzschicht bei Skalierung des Bohrprozesses in den Mikrobereich /

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Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2008.

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/261401842
Date	January 2008
Creators	Hurevich, Vitalii.
Publisher	Aachen : Shaker,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German