Analyse ultime par Spectroscopie de Masses des Ions Secondaires des matériaux de la microélectronique avancée contribution à l'interprétation des profils de bore dans le silicium /

Description

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2001. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre.

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1. http://docinsa.insa-lyon.fr/these/pont.php?id=baboux

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/493159021
Date	January 2004
Creators	Baboux, Nicolas. Dupuy, Jean-Claude
Publisher	Villeurbanne : Doc'INSA,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French