Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003. / Auch im Shaker-Verl. ersch. u.d.Titel: Herstellung, Charakterisierung und Bewertung von leitfähigen Diffusionsbarrieren auf Basis von Ta, Ti und W für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen, 2004 (3-8322-2532-3).
Identifer | oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/315076517 |
Date | January 2004 |
Creators | Baumann, Jens, |
Publisher | [S.l. : s.n.], |
Source Sets | OCLC |
Language | German |
Detected Language | German |
Type | Online-Publikation. |
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