Untersuchung des Puls-Magnetron-Sputterprozesses zur Abscheidung von Aluminiumoxid und des Einflusses einer gepulsten Biasspannung am Substrat /

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Techn. Universiẗat, Diss.--Dresden, 2003.

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1. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=015184942&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/249027768
Date	January 2003
Creators	Wünsche, Tilo.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German