In this project, thin films are being manufactured by different methods in a thin film deposition set-up and subsequently characterized. This is done in order to determine if the set-up is capable of producing films of sufficient quality to be used for research purposes in the ion physics group of the division of applied nuclear physics at Uppsala University. Both copper and silver films are manufactured by magnetron sputtering deposition. Copper films are also manufactured by evaporation deposition. Deposition is made on Si(001) substrates. The films are analyzed with Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) and Time of Flight- Elastic Recoil Detection Analysis (ToF-ERDA). Results show that the deposition rate of the set-up is much faster compared to the one provided by the manufacturer of the set-up. The purity of the films i.e. the concentrations of the contaminants are found to be in an acceptable range for research applications with an average oxygen contamination of <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?1.53%20%5Cpm%200.05%20%25" /> and carbon contamination of <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.53%20%5Cpm%200.02%20%25" /> for sputtered copper films. Sputtered silver films were found to have an oxygen contamination of <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.28%20%5Cpm%200.012%20%25" /> and a carbon contamination of <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.41%20%5Cpm%200.023%20%25" />. Evaporated copper films were found to have an oxygen contamination of <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.45%20%5Cpm%200.018%20%25" /> and carbon contamination of <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.31%20%5Cpm%200.013%20%25" />. Traces of gold (<img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?%5Cprec%200.5%20%25" />) were found exclusively in the sputtered films. Trace amounts of hydrogen could also be detected in both sputtered and evaporated films. The evaporated films are found to show lower contamination by oxygen than the sputtered films, but the manufacturing process employed in this study of evaporated films is not suitable to use for producing thin films of specific thicknesses as there is insufficient data to find a deposition speed. Overall, the set-up is capable of producing thin films with a sufficient quality for it to be used by the department when producing thin films for research. / I det här projektet produceras tunnfilmer med olika metoder i en uppställning för tunnfilmsdeposition och karaktäriseras sedan för att bedöma om maskinen är kapabel att producera filmer av tillräckligt bra kvalitet för att kunna användas i forskningssyften inom jonfysikgruppen på avdelningen för tillämpad kärnfysik på Uppsala Universitet. Både koppar och silverfilmer produceras med magnetronsputtring. Kopparfilmer produceras också med resistiv förångning. Deposition sker på Si(001)-substrat. Filmerna analyseras med Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) och Time of Flight- Elastic Recoil Detection Analysis (ToF-ERDA). Resultaten visar att depositionshastigheten för maskinen är snabbare än det som angetts av företaget som producerar maskinen. Renheten hos filmerna, dvs. koncentrationen av föroreningar, finnes vara inom en acceptabel nivå för forskningstillämpningar med en genomsnittlig syrekontamination på <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?1.53%20%5Cpm%200.05%20%25" /> och kolkontamination på <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.53%20%5Cpm%200.02%20%25" /> för sputtrade kopparfilmer. Sputtrade silverfilmer finnes ha en syrekontamination på <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.28%20%5Cpm%200.012%20%25" /> och en kolkontamination på <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.41%20%5Cpm%200.023%20%25" />. Förångade kopparfilmer finnes att ha en syrekontamination på <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.45%20%5Cpm%200.018%20%25" /> och en kolkontamination på <img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?0.31%20%5Cpm%200.013%20%25" />. Spår av guld (<img src="http://www.diva-portal.org/cgi-bin/mimetex.cgi?%5Cprec%200.5%20%25" />) hittades enbart i sputtrade filmer. Spår av väte kunde också hittas i både sputtrade och förångade filmer. De förångade filmerna finnes ha lägre syrekontamination än de sputtrade filmerna, men tillverkningsprocessen som används i projektet vid tillverkning av förångade filmer är inte lämplig att använda i produktion av tunnfilmer med specifika tjocklekar då det saknas data för att kunna hitta en depositionshastighet. Totalt sett är uppställningen kapabel att producera filmer av adekvat kvalitet för att de ska kunna användas inom avdelningen för produktion av filmer för forskning.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:UPSALLA1/oai:DiVA.org:uu-257506 |
| Date | January 2015 |
| Creators | Back, Markus |
| Publisher | Uppsala universitet, Tillämpad kärnfysik |
| Source Sets | DiVA Archive at Upsalla University |
| Language | English |
| Detected Language | English |
| Type | Student thesis, info:eu-repo/semantics/bachelorThesis, text |
| Format | application/pdf |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Relation | FYSAST ; FYSKAND1045 |
Page generated in 0.0025 seconds