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Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung

Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1997.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/314374064
Date January 1997
CreatorsKühn, Michael.
Publisher[S.l. : s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
TypeOnline-Publikation.

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