Aufgabe des Projektes war die Entwicklung einer neuen Technologie zur Probenpräparation für die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) auf der Basis der Ionenfeinstrahlbearbei-tung. Dazu wurden Prozesse der ionenstrahlgestützten Abtragung (Sputtern), der Abschei-dung, des Probenhandling sowie systemeigener Komponenten untersucht. Als Alternative zur Ga- Quelle wurde eine Flüssigmetall-Ionenquelle auf der Basis einer AuGeSi Legierung entwi-ckelt, charakterisiert und in der FIB 4400 eingesetzt. Um eine automatische Bearbeitung bei der Herstellung von TEM-Lamellen zu ermöglichen, erfolgte eine Modifikation der FIB-4400 Software. Das LabView Programm wurde entsprechend modifi-ziert und zusätzlich um nützliche Komponenten ergänzt. Abtragsraten auf der Basis der Volumenverlustmethode wurden experimentell bestimmt. Diese Werte dienen als Ausgangspunkt für eine weiter ausbaubare Datensammlung, die die entwi-ckelte Prozessautomatisierung verfeinert. Für den Tranfer von TEM -Lamellen, die aus dem Volumen präpariert werden, wurde ein spe-zieller lift-off Manipulator entwickelt, gebaut und getestet. Es wurde ein Angebotskatalog erarbeitet, der anhand von Applikationsbeispielen mit verschie-denen Anforderungen (raue Oberflächen, Hochauflösung, poröse Materialien, Materialien mit verminderter Leitfähigkeit) die Kooperationsmöglichkeiten im Dresdener Raum im Rahmen des Materialforschungsverbundes aufzeigt.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:21792 |
| Date | January 2001 |
| Creators | Bischoff, Lothar, Köhler, Bernd |
| Publisher | Forschungszentrum Rossendorf |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:report, info:eu-repo/semantics/report, doc-type:Text |
| Source | Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-329 August 2001 |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Relation | urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-237209, qucosa:22351 |
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