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Contribution à l'étude du procédé de dépôt chimique en phase vapeur de composés III.V à partir des molécules organométalliques de formule ClEt MIII - MVEt (MIII = Al, Ga ; MV = N, P).

Th. doct.-ing.--Physico-chim. des matér.--Toulouse--I.N.P., 1980. N°: 79.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/464934174
Date January 1900
CreatorsSalvetat, Éveline,
Publisher[S.l. : s.n.,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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