Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie

Description

Universiẗat, Diss., 2003--Stuttgart.

Links & Downloads

1. http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1438/index.html
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=969152914
3. http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1438/pdf/diss_pdf_01.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/176658727
Creators	Letzkus, Florian.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German