Optimierung des XRD 3000PTS für Diffraktometrie und Reflektometrie an dünnen Schichten

Description

Thin films become more and more important in science and industry. The main objective of this work was the expanding of the measurement capabilities of the XRD 3000PTS to the field of thin films. The success of the changes was documented by maesurements on TiC thin films. / Dünne Schichten gewinnen in Forschung und Industrie zunehmend an Bedeutung. Ziel der Arbeit war es deshalb, den Einsatzbereich des vorhandenen Diffraktometers XRD 3000PTS auf Untersuchungen an dünnen Schichten zu erweitern. Der Erfolg der Veränderungen konnte mit Messungen an einer TiC Probenserie bestätigt werden.

Links & Downloads

1. urn:nbn:de:swb:ch1-200400621
2. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18146
3. https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18146/attachment/ATT-0/
4. https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18146/attachment/ATT-1/

Tags

info:eu-repo/classification/ddc/530

ddc:530

Dünne Schicht

Reflektometrie

Röntgendiffraktometer

Röntgendiffraktometrie

Streifender Einfall

Titancarbid

XRD 3000PTS

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18146
Date	30 September 2003
Creators	Kehr, Mirko
Contributors	Giegengack, Helmut, Hoyer, Walter, Hinneberg, Hans-Jürgen, Technische Universität Chemnitz
Source Sets	Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Language	German
Detected Language	German
Type	doc-type:masterThesis, info:eu-repo/semantics/masterThesis, doc-type:Text
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess