Return to search

Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách / Study on the behavior of heavy metals in gettering multilayers

This thesis is devoted to the behavior of heavy metals in gettering multilayers made of polysilicon and silicon oxide.

Identiferoai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:229005
Date January 2010
CreatorsGretz, Leoš
ContributorsLysáček, David, Bábor, Petr
PublisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Source SetsCzech ETDs
LanguageCzech
Detected LanguageEnglish
Typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
Rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccess

Page generated in 0.0015 seconds