Jednou z možností korekce sférické vady v elektronové mikroskopii je hexapólový korektor. Ačkoliv samotný princip korekce je poměrně dobře v literatuře popsán, jen relativně málo je věnováno samotnému seřízení hexapólového korektoru, jež je stěžejní pro správnou funkčnost. Práce je věnována analytickému rozboru vad seřízení a jejich vlivu na rozlišení obrazu za použití metody eikonálu a aberačních integrálů. Je ukázáno, že nejdůležitější roli v parazitických aberací hrají výchylky a náklon hexapólů. V závěru je pak popsáno, jakým způsobem je třeba hexapólový korektor seřídit pro odstranění parazitických vad.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:318812 |
| Date | January 2017 |
| Creators | Sopoušek, Jan |
| Contributors | Lencová, Bohumila, Radlička, Tomáš |
| Publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství |
| Source Sets | Czech ETDs |
| Language | English |
| Detected Language | Unknown |
| Type | info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
Page generated in 0.0022 seconds