Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle

Description

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/502398716
Date	January 2009
Creators	Hellriegel, Ronald
Publisher	Norderstedt Books on Demand GmbH
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German