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Miniaturisiertes Weißlicht-Interferometer mit hoher Messfrequenz für die absolute Abstandsmessung

Techn. Hochsch., Diss., 2003--Aachen.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/175160714
Date January 2003
CreatorsBosbach, Christof.
PublisherAachen : Shaker,
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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