Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

Description

Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/612490856
Date	January 2009
Creators	Bennis, Abdelali
Publisher	Chemnitz Univ.-Verl.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German