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Elastische parallelkinematische Führungsgetriebe für ultrapräzise Bewegungen im Vakuum Konzepte, Komponenten und Konfigurationen der BESSY - Spiegelsysteme /

Techn. Universiẗat, Diss., 2003--Berlin.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/176761467
CreatorsNoll, Tino.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
TypeOnline-Publikation.

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