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Construção e análise de um elipsômetro de compensador girante. / Construction and analysis of a photometric elipsometer with rotating compensator.

Neste trabalho, descreveremos a teoria, a construção e algumas aplicações de um elipsômetro fotométrico de compensador girante e analisador fixo (RCFAE). Além disso, foram feitas medidas dos estados de polarização de um feixe de luz, bem como a medida da constante dielétrica complexa, &#958 = &#9581 - &#9582, de um substrato de ouro, a fim de verificar o desempenho d instrumento. Também foi feita uma análise comparativa da sensibilidade (ou poder de resolução) do elipsômetro construído com a do elipsômetro de analisador girante. Além disso, mostraremos como os resultados das medidas, são independentes da intensidade da luz incidente. / In this work we describe the theory, construction and most important applications of a photometric elipsometer with routing compensator and fixed analyzer. We also analyze the procedures for measuring the polarization states of a light beam and the complex dielectric constant of a substrate of gold, in order to verify the performance of instrument. A comparative analysis of the sensibility (or resolution power) of the elipsometer built with an elipsometer of routing was also made. We show that the results of the measurements are independent of the intensity of the incident light.

Identiferoai:union.ndltd.org:usp.br/oai:teses.usp.br:tde-31082009-101352
Date23 September 1985
CreatorsSilva, Adao Antonio da
ContributorsCarvalho, Rene Ayres
PublisherBiblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Source SetsUniversidade de São Paulo
LanguagePortuguese
Detected LanguageEnglish
TypeDissertação de Mestrado
Formatapplication/pdf
RightsLiberar o conteúdo para acesso público.

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