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Etude de la nucléation et de la croissance de nanocristaux de silicium élaborés par dépôt chimique en phase vapeur pour dispositifs nanoélectroniques

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2003. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/492967356
Date January 2005
CreatorsMazen, Frédéric Brémond, Georges.
PublisherVilleurbanne : Doc'INSA,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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