Elaboration et caractérisation de films minces de Ta2 O5 pour la réalisation de structures capacitives intégrées sur silicium

Description

Thèse de doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2000. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p.159-174.

Links & Downloads

1. http://csidoc.insa-lyon.fr/these/2000/four/index.html

Tags

Dépôt chimique en phase vapeur

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/492329746
Date	January 2000
Creators	Four, Sandrine. Autran, Jean-Luc
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French