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Elektronenspektroskopie und Faktoranalyse zur Untersuchung von ionenbeschossenen Metall (Re, Ir, Cr, Fe)-Silizium-Schichten

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Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:24738
Date07 February 2000
CreatorsReiche, Rainer
ContributorsWetzig, Klaus, Szargan, R., Möller, Wolfhard
PublisherTechnische Universität Dresden
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

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