Orientador : Peter Jurgen Tatsch / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-16T00:33:52Z (GMT). No. of bitstreams: 1
Diniz_JoseAlexandre_M.pdf: 4713261 bytes, checksum: 7d38143bb153f6e0355b010c762e20db (MD5)
Previous issue date: 1992 / Resumo: O principal trabalho desenvolvido foi o projeto, construçao e teste de um forno ( sistema) de processamento térmico rápido ( RTP - RAPID THERMAL PROCESSING), para a utilização em processos de fabricação de circuitos integrados. Como fonte radiante de aquecimento, utilizou-se um conjunto de 11 lâmpadas de tungstênio-halogênio (halógenas) de 1500W/220V, totalizando 16500W de potência. Os capitulos destà dissertação apresentam: no primeiro, o
objetivo do trabalho, a motivação para executá-lo, as aplicações e as comparações entre os fornos convencionais e os sistemas RTP. No segundo, os sistemas RTP, com os diferentes tipos de fontes radiantes de calor, os métodos ( termopares e pirômetros ópticos ) para a medição da temperatura dos substratos em processamento térmico rápido e uma análise geral sobre a uniformidade aquecimento nos sistemas. No terceiro, o projeto e montagem de da parte mecânica do forno de RTP, a parte elétrica do equipamento, com uma análise geral do controlador de potência das lâmpadas halógenas. No quarto, o teste e caracterização do forno desenvolvido. No quinto, uma aplicação em processos de fabricação, do tipo recozimento térmico rápido ( RTA RAPID THERMAL ANNEALING ) a baixas temperaturas. No sexto e último as conclusões gerais, as melhorias e os trabalhos futuros sugeridos / Abstract: Not informed. / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/261579 |
| Date | 21 August 1992 |
| Creators | Diniz, José Alexandre, 1964- |
| Contributors | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Tatsch, Peter Jürgen, 1949- |
| Publisher | [s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Format | 105f. : il., application/pdf |
| Source | reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Relation | (Publicação FEE) |
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