Ionenassistierte Deposition von Siliciumschichten

Description

Universiẗat, Diss., 2001--Stuttgart.

Links & Downloads

1. http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2001/810/pdf/Dissertation_Lars_Oberbeck_Druckversion.pdf
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=96151938X

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/174753088
Creators	Oberbeck, Lars.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German