Untersuchung von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplantation und bei epitaktischem Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung

Description

Universiẗat, Diss., 1999--München.

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/614278232
Creators	Beck, Udo W. L.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German