Kinetische Modellierung der Elektronenkomponente in kapazitiv gekoppelten Niederdruckplasmen

Description

Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2005

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1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?id=2766408&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/181538023
Date	January 2005
Creators	Hamme, Frank
Publisher	Berlin Bochum Dülmen London Paris Europ. Univ.-Verl.
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German