Untersuchungen zum Einsatz des Negativresistmaterials SU-8 in der LIGA-Technik

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2004--Berlin.

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1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=971598533
2. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2004/schuetz_antje.pdf
3. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2004/schuetz_antje.htm

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/177298226
Creators	Schütz, Antje.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.