Untersuchungen zum Einsatz des Negativresistmaterials SU-8 in der LIGA-Technik

Description

Berlin, Techn. Univ., Diss., 2004. / Computerdatei im Fernzugriff.

Links & Downloads

1. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2004/schuetz_antje.pdf
2. http://edocs.tu-berlin.de/diss/2004/schuetz_antje.htm
3. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=971598533

Tags

LIGA-Verfahren

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/637382504
Date	January 2004
Creators	Schütz, Antje.
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German