Procédés lithographiques pour les technologies des semi-conducteurs inférieures à 90nm de la synthèse à l'étude des mécanismes physicochimiques induisant la rugosité des motifs /

Description

Thèse de doctorat : Chimie. Chimie-Physique : Strasbourg : 2009. / Thèse soutenue sur un ensemble de travaux. Titre provenant de l'écran-titre. Notes bibliogr.

Links & Downloads

1. http://eprints-scd-ulp.u-strasbg.fr:8080/1155/01/ISMAILOVA_Esma_2009.pdf

Tags

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/495418142
Date	January 2009
Creators	Ismailova, Esma Hadziioannou, Georges.
Publisher	Strasbourg : Université de Strasbourg,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French
Source	Thèse électronique de l'Université de Strasbourg