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Entwicklung einer Niederenergie-Implantationskammer mit einem neuartigen Bremslinsensystem

In diesem Report wird eine Niederenergie-Implantationskammer (NEI-Kammer) beschrieben, die im Forschungszentrum Rossendorf entwickelt und aufgebaut wurde. Die Kammer ermöglicht es, die Implantation von Ionen bei niedrigen Energien (< 30 keV) mit einer Implantationsanlage für mittlere Energien durchzuführen. In der Kammer werden der Ionenstrahl, den der Implanter liefert, auf die erwünschte niedrige Energie abgebremst. Dazu wird ein elektrostatisches Bremslinsensystem eingesetzt, das auf einem neuartigen Prinzip basiert. Das System besteht aus einer Sammellinse und einer Zerstreuungslinse, wobei die Öffnungsfehler beider Linsen entgegengesetzte Vorzeichen besitzen und sich gegenseitig kompensieren. Dadurch ist es möglich, Wafer gebräuchlicher Größe bei geringer Energie mit hoher Dosishomogenität zu implantieren. Die NEI-Kammer ist insbesondere für Forschungseinrichtungen eine vorteilhafte Lösung, da sie eine wesentlich kostengünstigere und flexiblere Alternative zur Anschaffung einer Niederenergie-Implantationsanlage darstellt.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:21797
Date January 2001
CreatorsBorany, Johannes von, Teichert, Jochen
PublisherForschungszentrum Rossendorf
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
LanguageEnglish
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:report, info:eu-repo/semantics/report, doc-type:Text
SourceWissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-323 Mai 2001
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
Relationurn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-237209, qucosa:22351

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