Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung

Description

Bielefeld, Univ., Diss., 2004

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1. http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=urn:nbn:de:hbz:361-5189
2. urn:nbn:de:hbz:361-5189
3. http://bieson.ub.uni-bielefeld.de/volltexte/2004/518/pdf/stefanb̲raund̲issertation.pdf
4. http://bieson.ub.uni-bielefeld.de/volltexte/2004/518/index.html
5. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=971281130

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/163218279
Date	January 2004
Creators	Braun, Stefan
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	LF