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Entwicklung eines Low-Power-Gassensorarrays unter Verwendung von dicken Opferschichten aus porösem Silizium als Basis für eine selektive Gasdetektion

Universiẗat, Diss., 2002--Bremen.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/614926782
CreatorsBartels, Olaf.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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