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Etude de la résolution en profondeur lors de l'analyse par spectrométrie de masse des ions secondaires détermination de la fonction de résolution pour le bore dans le silicium, mise au point d'une procédure de déconvolution et applications /

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 1997. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p. 222-231.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/491777809
Date January 1999
CreatorsGautier, Brice. Dupuy, Jean-Claude
PublisherVilleurbanne : Doc'INSA,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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