La notion de micro-systèmes est née avec la microélectronique, mais n'a jamais connu le même essor. Les raisons de cette différence de développement sont nombreuses : multiplicité des domaines à maîtriser, complexité des circuits de traitement du signal nécessaires, et surtout manque de procédés de fabrication standards. Jusqu'à nos jours, pour presque chaque circuit micro-système conçu puis réalisé, un procédé de fabrication spécifique a dû être développé en Laboratoire. En outre, en raison du manque de marché apparent pour ce type de composant, rares sont les applications qui ont pu être industrialisées, les investissements nécessaires étant trop importants. Les micro-systèmes sont donc, depuis leur naissance, restés des sujets de recherche en laboratoire, et n'ont pu connaître de phase d'industrialisation. Le but de mon travail de recherche a été l'utilisation des capacités et des compétences offertes par l'industrie de la microélectronique (technologie de fabrication, outils et méthodes de conception, de simulation et de test), pour concevoir et réaliser des circuits micro-systèmes monolithiques, grâce au procédé de gravure anisotropique du silicium cristallin, il est possible d'obtenir des éléments suspendus sur des micro-cavités à partir de puces fabriquées avec des technologies VLSI. Ces éléments peuvent être utilisés pour réaliser des fonctions micro-électroniques. Ce procédé de gravure a été étudié et caractérisé, et des règles de dessin pour la conception et la fabrication de structures suspendues ont été établies. Un environnement de conception assisté par ordinateur, basé sur le logiciel CADENCE, a de plus été développé afin de rendre ce procédé de fabrication accessible à tous les concepteurs.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00010771 |
| Date | 13 January 1997 |
| Creators | PARET, J. - M. |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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