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Entwicklung und Simulation eines Verfahrens zum elektrochemischen Abtragen von Mikrogeometrien mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl

Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2010

  1. http://d-nb.info/999980084/04
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/612494603
Date January 2010
CreatorsHackert, Matthias
Publisher[Auerbach] Verl. Wiss. Scripten
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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