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Entwicklung von mikromechanischen Schaltern für neuartige MEMS-Produkte unter Aspekten industrieller Fertigungsprozesse

Universiẗat, Diss., 2001--Bremen.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/174880421
CreatorsMichaelis, Sven.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
TypeOnline-Publikation.

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